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阿石创申请一种快速测试ITO靶材晶粒粒度的金相检测方法及其应用专利，实现低成本对非高纯金属靶材晶粒粒度的检测

专利摘要显示，本发明提供了一种快速测试ITO靶材晶粒粒度的金相检测方法及其应用，属于检测技术领域...

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