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贵州瓮福蓝天氟化工申请热分解氟硅酸法生产氟化氢的生产设备专利,保证反应速率和转化率
本专利的目的在于氟硅酸热解反应能够持续稳定地进行,保证反应速率和转化率,同时提高资源重复循环利用...
金融界网站 2024-10-30 13:35:07
贵州瓮福蓝天氟化工申请氟硅酸制氟化氢的分离设备专利,降低能源消耗和生产成本
本专利的目的在于解提高氟化氢纯度,降低物料循环量,降低能源消耗和生产成本...
金融界网站 2024-10-30 13:30:09
湖北兴福电子申请一种适用于深沟槽蚀刻的氮化硅蚀刻液专利,实现氮化硅膜层与氮化钛膜层蚀刻选择比的调控
专利摘要显示,本发明公开了一种氮化硅选择性蚀刻液,该蚀刻液包括磷酸、氧化硅蚀刻抑制剂、氮化钛蚀刻抑制剂、硅烷偶联剂、表面氮化硅活性剂和水...
金融界网站 2024-10-26 17:35:48
浙江奥首材料科技申请一种硅晶片糙面减薄蚀刻液及其制备方法与应用专利,显著提高蚀刻速率,改善蚀刻后硅表面粗糙度
本发明中纤维素类增稠剂使体系整体的粘稠度增加,有利于粗蚀刻;同时气泡生长并留在硅表面上,蚀刻液很难进一步接触硅,使得衬底上蚀刻速率分布不均匀,硅的表面变粗糙...
金融界网站 2024-09-05 07:15:19
新洋丰申请一种利用湿法磷酸产生的氟硅酸制备无水氟化氢的方法专利,工艺流程中产生的副产物得到了再利用
工艺流程中产生的副产物得到了再利用,且生产的无水氟化氢收率高、纯度高...
金融界网站 2024-08-24 23:25:50
浙江奥首材料科技取得多晶硅蚀刻相关专利,解决以往蚀刻过程中的难题
专利摘要显示,本发明涉及一种异山梨醇基强碱性季铵碱,及包含其的多晶硅蚀刻液、其制备方法及应用。所述多晶硅蚀刻液,组分中包含异山梨醇基强碱性季铵碱,非离子表面活性剂和超纯水...
金融界网站 2024-08-20 19:10:25
新宙邦申请一种BOE蚀刻液及其应用专利,能够较好地实现对氧化硅层和氮化硅层的蚀刻性能
本发明采用氟化氢、氟化铵和氨基酸化合物添加剂组成的BOE蚀刻液配方体系,能够较好地实现对氧化硅层和氮化硅层的蚀刻性能,平衡不同含硅层的蚀刻速率,从而避免药液用于多层硅系薄膜蚀刻时出现底切或突出问题...
金融界网站 2024-06-17 21:10:17
投资者提问:公司子公司硅密电子官网的产品介绍中,有全自动清洗蚀刻机,应用范...
投资者提问:公司子公司硅密电子官网的产品介绍中,有全自动清洗蚀刻机,应用范围是半导体和先进封装,由于半导体行业比较专业,所以投资者不太懂,请问这类设备在先进封装领域起的作用是什么...
问董秘 2023-11-28 16:30:21
投资者提问:目前已量产的应用于 128 层、192 层及以上的氮化硅蚀刻液...
投资者提问:目前已量产的应用于 128 层、192 层及以上的氮化硅蚀刻液产品已规模化销售,报告期内实现销售收入超 1 亿元...
问董秘 2023-05-10 16:56:54
投资者提问:请问王总23年氮化硅蚀刻液、氮化钛蚀刻液以及光刻胶系列产品营收...
投资者提问:请问王总23年氮化硅蚀刻液、氮化钛蚀刻液以及光刻胶系列产品营收目标多少。董秘回答(上海新阳SZ300236):尊敬的投资者:你好...