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北京中电科申请晶圆冷却装置及冷却方法专利，在抛光过程中实时在线冷却抛光盘表面
金融界2025年1月29日消息，国家知识产权局信息显示，北京中电科电子装备有限公司申请一项名为“一种晶圆冷却装置及冷却方法”的专利，公开号CN 119369264 A，申请日期为2024年11月...
金融界火线 2025-01-29 17:12:16
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