找到相关新闻1篇
北方华创申请应用于立式炉的测温装置和立式炉专利，提高第一热电偶在套管内的平行度和同心度
专利摘要显示，本发明提供了一种应用于立式炉的测温装置和立式炉，涉及晶圆的热处理技术领域，为解决热电偶在套管内的倾斜和不同心难以处理的问题而设计...
金融界网站 2024-09-26 09:25:41
|
1
|
