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至纯科技申请一种降低晶圆传输污染的夹持和翻转设备及方法专利，避免清洗前的脏晶圆对清洗后的干净晶圆产生影响
专利摘要显示，本发明涉及晶圆传输技术领域，具体涉及一种降低晶圆传输污染的夹持和翻转设备及方法。本发明实现了清洗前的晶圆和清洗后的晶圆的分开夹持和翻转，避免清洗前的脏晶圆遗留在夹齿上的污染物对清洗后的干净晶圆产生影响...
金融界网站 2024-08-30 10:25:47
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