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厦门恒坤申请一种底部抗反射膜树脂和组合物及其制备方法和图案形成方法专利,能够提高底部抗反射膜涂层的折射率
专利摘要显示,本发明属于半导体涂层材料技术领域,尤其涉及一种底部抗反射膜树脂和组合物及其制备方法和图案形成方法。所述底部抗反射膜树脂的制备方法包括将单体Ⅰ、单体Ⅱ和单体Ⅲ在自由基引发剂的存在下进行聚合反应...
金融界网站 2024-11-13 12:20:54
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